８月２７日放送　「極端紫外線で超ＬＳＩを作る」

Ｊ　兵庫県の播磨科学公園都市にやってきました。 Ｗ　きょうは、パソコンや携帯電話に欠かせない「ＬＳＩ」の研究を見に来たんじゃ。 Ｊ　「ＬＳＩ」。なんか聞いたことある。 Ｗ　そうじゃろう。ここは兵庫県が作った「ニュースバル」。放射光（ほうしゃこう）を使って様々な研究が行われているんじゃ。そのひとつとして、より高性能のＬＳＩを作る技術が研究されているんじゃよ。 Ｊ　なんか難しそう。

ＬＳＩは、集積回路ともいわれるように、とても複雑な電子回路をものすごく小さく作ったものだ。現在の技術では、５ミリ角に数百万個のトランジスタを組み込んだのと同じ性能のＬＳＩができている。ＬＳＩをより高性能にできれば、パソコンのスピードが速くなったり、消費電力が少なくなるなどのメリットがある。兵庫県立大学では、ニュースバルの放射光施設を使って、より集積度が高いＬＳＩの製造技術を研究している。ＬＳＩ製造の原理は、写真のプリントと似ている。回路を描いたフィルムに極端紫外線を通して感光剤を塗ったシリコンに露光する。そして現像すると、シリコン上に配線が描かれる仕組みだ。写真のフィルムにあたる部分をマスクといい、印画紙にあたる部分はウェハーという。この作業を何回も繰り返して、何層もの回路を作っていく。ポイントは、直進性など性格が良い光りを使うことだ。このため、極端紫外線や軟Ｘ線という目には見えない光が使われている。ニュースバルはこうした光を発生できる実験研究施設なのだ。